Produsent av CVD SiC-belagt grafittsusceptor for MOCVD og epitaksi

Produktoversikt

Ved epitaksial vekst har susceptoren en direkte innflytelse på hvor jevnt wafere varmes opp og hvor konsistent vekstmiljøet forblir gjennom en kjøring. Semixlabs CVD SiC-belagte susceptorer er laget av tett grafitt og belagt med vår SiC-prosess. Hva tilfører de?

● God varmeledningsevne

● Jevnlige temperaturprofiler over hele waferen

● Solid motstand mot prosesskjemikalier

● Lav partikkelavgivelse

● Forlenget levetid for deler i varme soner

CVD-belegget danner en tett SiC-hud som beskytter grafitten mot aggressive gasser og øker komponentens generelle robusthet.

Viktige funksjoner

Høyrent grafittsubstrat

Vi bruker grafittkvaliteter som gir deg:

● Lavt antall urenheter

● Forutsigbar mekanisk respons

● Tilstrekkelig varmeledningsevne

● God toleranse for termisk sjokk

Denne grafitten holder seg godt under raske oppvarmings- og avkjølingssykluser.

Ensartet CVD SiC-belegg

SiC-laget gir:

● Høy overflatehardhet

● God oksidasjonsbeskyttelse

● Forbedret korrosjonsbestandighet

● Mindre risiko for kontaminering

Beleggtykkelsen og overflatefinishen kan varieres for å passe din spesifikke prosess.

Utmerket termisk ensartethet

Det er ikke nødvendig å oppnå et stabilt termisk felt for epitaksi. Kombinasjonen av grafittens konduksjon og SiCs overflateegenskaper bidrar til å levere:

● Ensartede wafertemperaturer

● Mer stabil prosessering

● Bedre repeterbarhet fra kjøring til kjøring

Høy temperatur stabilitet

Disse susceptorene er bygget for å håndtere tøffe halvlederforhold:

● Høye driftstemperaturer

● Hyppig termisk sykling

● Vedvarende prosessstabilitet over lange perioder

Hvorfor velge Semixlab?

Avansert CVD-beleggteknologi

Vi har praktisk erfaring med karbonbaserte materialer og CVD-belegg, og vi kan skreddersy SiC-belagte grafittkomponenter til din spesifikke halvlederapplikasjon.

Tilpasset produksjonskapasitet

Vi håndterer:

● Prototyper

● Små løp

● Volumproduksjon

● Tilpassede størrelser og design

Kvalitetskontroll

Hver del blir sjekket for:

● Dimensjonspresisjon

● Overflatetilstand

● Beleggens ensartethet

● Prosesspålitelighet