Glasskarbonbelegg

Glassaktig karbonbelegg brukes vanligvis når renslighet er viktigere enn noe annet. Det skaper en glattere og mer inert overflate på grafitt, noe som bidrar til å redusere partikkelgenerering under drift.

Du vil se det i applikasjoner som silisiumkrystallvekst, epitaksi eller MOCVD-susceptorer. I noen tilfeller brukes det også utenfor halvledere, for eksempel i metallurgisk verktøy.

Et interessant bruksområde er i MBE-systemer. På grunn av den høyere elektriske resistiviteten kan det hjelpe visse komponenter med å nå driftstemperatur mer effektivt, noen ganger uten behov for ytterligere kjøling. Det er ikke det vanligste belegget, men i spesifikke miljøer – spesielt der forurensningskontrollen er streng – kan det være et praktisk alternativ.