SiC Keramikk

SiC-keramikk brukes mer og mer i halvlederutstyr, hovedsakelig fordi det holder bedre under tøffere forhold. Når temperaturen blir høy eller prosessen blir mer aggressiv, kan materialer som kvarts eller silisium begynne å vise begrensninger, og det er vanligvis der SiC kommer inn i bildet. I ovnsprosesser som oksidasjon eller diffusjon, har deler som waferbåter eller padler laget av SiC en tendens til å vare lenger. De holder formen og bringer ikke med seg mye forurensning, selv etter lange løp. Folk bytter ofte fra kvarts av denne grunn, spesielt når vedlikeholdet blir for hyppig.

For etsing velges ofte SiC rett og slett fordi det overlever plasma lenger. Forskjellen i levetid sammenlignet med silisiumdeler er merkbar i mange oppsett, men det avhenger fortsatt av den nøyaktige prosessen. Det hjelper også litt med partikkelkontroll, som blir mer følsom etter hvert som nodene krymper. Du vil også se SiC brukt som susceptorer i MOCVD eller CVD. I slike tilfeller handler det mindre om "styrke" og mer om å holde temperaturen stabil. Utover det dukker det opp i kammerdeler som foringer eller dusjhoder, og noen ganger også i håndteringskomponenter.