Silisium deler

Silisiumdeler brukes hovedsakelig fordi de matcher wafermaterialet. Det alene gjør dem nyttige, siden det reduserer sjansen for å introdusere uønskede forskjeller i prosessen. De er vanlige i etse- og avsetningsmiljøer. Ytelsen er generelt stabil, selv om levetiden kan variere ganske mye avhengig av hvor hard prosessen er.

Med bedre maskinering og overflatebehandling har disse delene blitt bedre over tid. Likevel velges de ikke alltid for holdbarhet, men mer for kompatibilitet og prosesskonsistens.