TaC-belagt LED epi-susceptor

TaC-belagte LED-episusceptorer bruker tantalkarbid (TaC) beleggteknologi med høy renhet, som er spesielt utviklet for MOCVD-utstyr (metallorganisk kjemisk dampavsetning) og egnet for høytemperaturavsetningsprosesser av LED-epitaksiale wafere. Produktet har utmerket høy temperaturmotstand, korrosjonsmotstand og termisk stabilitet, noe som kan redusere forurensning og partikkelavgivelse betydelig, og forlenge levetiden. Det er et ideelt valg for å forbedre LED-epitaksiale waferutbytte og produksjonseffektivitet.

Påføring:

TaC-belagt LED-epi-susceptor er spesialdesignet for MOCVD-utstyr og brukes hovedsakelig i produksjon av LED-epitaksiale wafere, spesielt for epitaksial vekst av galliumnitrid (GaN)-baserte blå og ultrafiolette LED-er. Den kan også dekke produksjonsbehovene til SiC/GaN-krafthalvlederkomponenter og er egnet for høytemperatur CVD, MBE og andre materialavsetningseksperimenter i vitenskapelige forskningsinstitutter.

Tjenester som kan tilbys:

kundeapplikasjonsscenarioanalyse, matchende materialer, teknisk problemløsning.

Firma profil:

Semixlab har 2 laboratorier, et team av eksperter med 20 års materialerfaring, med FoU og produksjon, testing og verifikasjonsevner.

Tekniske parametere

Hovedapplikasjonsfelt

Godkjenning av verifisering av økologisk kjede

Semixlab TaC-belagt LED epi-susceptors økologiske kjedeverifisering dekker råvarer til produksjon, har bestått internasjonal standardsertifisering og har en rekke patenterte teknologier for å sikre pålitelighet og bærekraft innen halvleder- og ny energi.

Typisk søknadsprosess

Råmaterialeforberedelse (inspeksjon av høyrent grafitt) → Substratfremstilling (isostatisk pressing) → TaC-beleggprosess (CVD-avsetning) → Etterbehandling (presisjonspolering) → Kvalitetsinspeksjon → Pakking og levering

Etter hvert som LED-teknologien utvikler seg mot mindre størrelser og høyere presisjon, som for eksempel Mini LED og Micro LED, blir kravene til stabilitet og prosesskontroll for MOCVD-utstyr stadig høyere. Markedsføringen av TaC-belagte LED-epi-susceptorer kan ikke bare forbedre effektiviteten til eksisterende LED-produksjon, men også gi et mer pålitelig produksjonsgrunnlag for neste generasjon av displayteknologi.

For detaljerte tekniske spesifikasjoner, rapporter eller prøvetestordninger, vennligst kontakt vårt tekniske supportteam for å utforske hvordan Semixlab kan forbedre prosesseffektiviteten din.

Fordeler med Semixlab TaC-belagte LED epi-susceptorkjerne

Superhøy temperaturmotstand

TaC-belagte LED-epitaksiale susceptorer er laget av tantalkarbidmateriale med høy renhet, som kan fungere stabilt i lang tid i høytemperaturmiljøer over 1200 °C. Selv under de ekstreme temperaturforholdene i MOCVD-prosessen vil ikke belegget sprekke eller skrelle av, noe som sikrer ensartethet og konsistens i den epitaksiale vekstprosessen og effektivt forbedrer produktutbyttet.

Utmerket korrosjonsbestandighet

Under produksjonsprosessen av LED-epitaksiale wafere må susceptoren utsettes for korrosive gassmiljøer som H2 og NH3 over lengre tid. TaC-belegget har ekstremt sterk kjemisk inertitet og kan effektivt motstå gasserosjon og unngå urenheter generert av oksidasjon eller reaksjon, og dermed sikre renheten og den optoelektroniske ytelsen til den epitaksiale waferen.

Lav termisk deformasjon

Den termiske ekspansjonskoeffisienten til TaC-belegget er svært tilpasset grafittsubstratets, og susceptoren kan opprettholde en ekstremt lav termisk deformasjonshastighet selv under rask temperaturstigning og -fall. Denne funksjonen kan redusere risikoen for epitaksial wafer-vridning betraktelig, sikre jevn vekst av det epitaksiale laget og forbedre produktets konsistens.

Høy overflatefinish

Susceptoroverflaten er presist polert, med en ruhet kontrollert under 0.5 μm, noe som effektivt reduserer defektraten under epitaksial vekst. Den glatte overflaten kan også redusere adhesjonen mellom den epitaksiale waferen og susceptoren, noe som gjør det enklere å fjerne waferen og reduserer risikoen for waferbrudd.

Lang levetid design

Sammenlignet med tradisjonelle grafittmotstandere har TaC-belegg bedre slitestyrke og korrosjonsbestandighet, og levetiden kan økes med mer enn tre ganger. Dette reduserer ikke bare hyppigheten av utskifting av forbruksvarer, men reduserer også prosessvariasjoner forårsaket av aldring av motstandere, noe som kan redusere produksjonskostnadene betydelig på lang sikt.