EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Myk filt av høy renhet
Semixlabs myke filt med høy renhet er spesielt utviklet for krevende høytemperatur termiske feltapplikasjoner i halvlederproduksjon. Produsert av høykvalitets karbonbaserte forløpere og renset gjennom avansert prosessering, gir dette myke filtmaterialet ultralave urenhetsnivåer, utmerket varmeisolasjon og enestående strukturell tilpasningsevne. Den fleksible strukturen tillater presis tilpasning i komplekse termiske feltdesign, noe som muliggjør optimaliserte temperaturgradienter og stabile prosessforhold. Vi ser frem til din forespørsel.
Tekniske beskrivelser
Hvorfor er renhet viktig i termiske felt? Når man produserer tredje generasjons?
halvledere (SiC/GaN), tradisjonelle isolasjonsfilt med høyt askeinnhold (over 500 ppm) har en tendens til å frigjøre metalliske urenheter ved temperaturer over 1600 °C. Dette forårsaker gitterdefekter og reduserer waferutbyttet.
Semixlabs myke filt går gjennom vår eksklusive kjemiske renseprosess ved høy temperatur, noe som reduserer det totale urenhetsnivået til mindre enn 5 ppm. Dette sikrer ikke bare et rent vekstmiljø, men gir også den ekstreme termiske stabiliteten som trengs for krystallvekst med lang syklus.
Semixlab Edge
Vi er mer enn en leverandør – vi er din partner for høytemperatursoner. Grunnlagt av CAS-forskere, utmerker vi oss i å kombinere isolasjonsløsninger med CVD-belegg (TaC/SiC). Vi leverer ikke bare isolasjonsfilt; vi optimaliserer hele ditt termiske felt ved hjelp av grafittvarmere og porøs TaC for å redusere energiforbruket. Vår interne 5-aksede CNC-maskinering muliggjør tilpassede, forhåndsmonterte sett som nøyaktig matcher ovnsdesignet ditt med null feil.
Spesifikasjoner
| Eiendommer | Premium PAN-basert filt | Høykvalitets viskosebasert filt |
| Total urenhet | ≤5 ppm (GDMS) | ≤10 ppm |
| Karboninnhold | ≥ 99.99% | ≥ 99.95% |
| Romvekt | 0.10 - 0.15 g/cm³ | 0.08 - 0.12 g/cm³ |
| Termisk kondensator (@1000°C) | 0.12 - 0.15 W/m·K | 0.09–0.13 W/m²·K |
| Maks. driftstemperatur | 2800 °C (inert/vakuum) | 2600 °C (inert/vakuum) |
| Standard tykkelse | 3 mm / 5 mm / 10 mm / 20 mm | 3 mm / 5 mm / 10 mm / 20 mm |
Applikasjoner
Kritiske applikasjoner
Feltbevist ytelse:
Filten vår er konstruert for SiC- og silisiumvekst (PVT/CZ), og fungerer som en termisk stabilisator for å undertrykke krystallforskyvninger. I MOCVD/epitaksi (kompatibel med Aixtron, NuFlare) forblir den inert under korrosive H2/NH3-strømmer, og blokkerer diffusjon av urenheter. For fibertrekking og safirsintring sikrer dens nullgassingsegenskap vakuumintegritet og forhindrer utbyttetap.
Konkurransefordel
Kjernefordeler
Ultrahøy renhet (<5 ppm), testet av GDMS. Strengt kontrollert Al, B, Fe og andre viktige urenheter for å unngå krysskontaminering i epitaksial vekst.
Utmerket termisk isolasjon: Varmeledningsevne så lav som 0.12 W/m·K ved 1000 °C, noe som reduserer varmetap og kontrollerer termisk gradient innenfor ±1 °C.
Lav partikkelavgivelse: Optimalisert fiber- og overflatebehandling reduserer støv i vakuumsykluser, og beskytter CVD (TaC/SiC) grafittmotstandere og varmeelementer.
Høy fleksibilitet og passform: Myk og komprimerbar for 360° sømløs innpakning på komplekse ovner, og forhindrer termiske lekkasjer fra stiv isolasjon.
FAQ
Optimaliserte vanlige spørsmål
Spørsmål: Hvordan forbedrer Semixlab myk filt levetiden til grafittvarmere?
A: Ved å gi et mer stabilt termisk skjold, reduserer den myke filten vår effektbelastningen som kreves av varmeren for å opprettholde måltemperaturene, og dermed bremser den karbonsublimeringen og oksidasjonen av grafittvarmeelementene.
Spørsmål: Kan filten din brukes i miljøer med høy gassflyt?
A: Ja. For prosesser med høy gasshastighet (som MOCVD) anbefaler vi vår PAN-baserte filt med høy tetthet eller en hybridløsning med en grafittfoliebelegg, som forhindrer fibererosjon og sikrer null partikkelforurensning.
Våre tjenester
