Høyrenhets SiC-båt

Høyrent silisiumkarbid (SiC)-båt er en høyytelses keramisk bærer designet for høytemperatur halvlederprosesser, krystallvekst og presisjonsvarmebehandling. Den er sintret med ultrarent SiC-materiale og har utmerket høy temperaturmotstand, termisk sjokkmotstand og kjemisk stabilitet. Den er mye brukt i halvlederdiffusjon, CVD, LED-epitaksi og fotovoltaisk enkeltkrystallvekst.

Påføring:

Høyrent SiC-båt er en viktig forbruksvare for halvlederprosesser, hovedsakelig brukt til å bære og overføre wafere i høytemperaturmiljøer, og er mye brukt i diffusjons-, oksidasjons-, glødings- og CVD-prosesser for silisiumwafere. Den er spesielt egnet for høytemperaturprosesser i tredjegenerasjons halvledere (som SiC/GaN) og kraftenheter.

Tjenester som kan tilbys:

kundeapplikasjonsscenarioanalyse, matchende materialer, teknisk problemløsning.

Firma profil:

Semixlab har 2 laboratorier, et team av eksperter med 20 års materialerfaring, med FoU og produksjon, testing og verifikasjonsevner.

Tekniske parametere

Hovedapplikasjonsfelt

Godkjenning av verifisering av økologisk kjede

Semixlab High-Purity SiC Boats økologiske kjedeverifisering dekker råvarer til produksjon, har bestått internasjonal standardsertifisering og har en rekke patenterte teknologier for å sikre pålitelighet og bærekraft innen halvleder- og ny energi.

Typisk søknadsprosess

Råvareforberedelse (høyrent SiC-pulver) → Formingsprosess (tørrpressing/isostatisk pressing) → Sintringsprosess → Maskinering og overflatebehandling (CNC-sliping/polering, kjemisk etsing, gløding) → Rensing og CVD-belegg → Kvalitetskontroll → Emballasje

Gjennom banebrytende prosessparameteroptimalisering sikrer Semixlab High-Purity SiC Boats unike strukturelle design utmerket waferstabilitet samtidig som den reduserer risikoen for partikkelforurensning betydelig. Levetiden kan nå 5–8 ganger høyere enn for tradisjonelle kvartsbåter, noe som gjør den til en ideell bærerløsning for høytemperaturwaferprosessering. Denne innovasjonen gjør det mulig for den gradvis å erstatte import i halvledermarkedet, og gir en høytytende og kostnadseffektiv innenlandsk løsning.

For detaljerte tekniske spesifikasjoner, rapporter eller prøvetestordninger, vennligst kontakt vårt tekniske supportteam for å utforske hvordan Semixlab kan forbedre prosesseffektiviteten din.

Kjernefordeler for Semixlab High-Purity SiC-båter

1. Ekstrem renhet (viktig fordel)

Semixlab High-Purity SiC Boat har ultrahøy renhet (≥99.9999 %), og urenhetsinnholdet (Fe, Al, Na, etc.) er kontrollert til 1 ppm-nivået for å unngå forurensning av wafere eller epitaksiale materialer, noe som er spesielt egnet for SiC/GaN-halvlederproduksjon.

2. Kjemisk inertitet (korrosjonsbestandighet)

Motstandsdyktig mot syre-, alkali-/plasmaerosjon, og kan motstå korrosive gasser som HF, HCl, H2 (som halvlederetsingsprosesser). Ingen gassutslipp ved høye temperaturer.

3. Mekanisk styrke og levetid

Ultrahøy hardhet, utmerket slitestyrke, reduserer risikoen for partikkelavgivelse og forlenger levetiden (vanligvis 3 til 5 ganger levetiden til en kvartsbåt). Deformeres ikke lett ved høye temperaturer, og opprettholder waferens flathet (som vridning i en diffusjonsovn <0.1 mm).

4. Prosesskompatibilitet

Kan tilpasses en rekke tøffe miljøer, oksidasjons-/reduksjonsatmosfærer (som O2, H2, Ar) og CVD/PVD-beleggprosesser. Overflaten kan tilpasses, for eksempel polering (Ra<0.1μm) eller belegg (som SiO2) for ytterligere å redusere forurensning.