SiC-belagt grafittvarmer for MOCVD

Produkter Detaljer

SiC-belagt grafitt MOCVD-varmer kombinerer den utmerkede varmeledningsevnen til grafitt med den høye temperatur- og korrosjonsbestandigheten til SiC-belegg, og er mye brukt i metallorganisk kjemisk dampavsetningsutstyr (MOCVD) for å sikre stabilitet og høy renhet i waferepitaksi-vekstprosesser.

Produktegenskaper for SiC-belagt grafitt MOCVD-varmer

1. Ultrahøy renhet og kjemisk stabilitet

Renhet ≥99.99995 %: Grafittvarmeren vår er fremstilt under høytemperaturklorering gjennom CVD-prosessen, som effektivt unngår forurensning av metallurenheter og oppfyller kravet om ultrarene miljøer i halvlederproduksjon.

Antikjemisk korrosjon: Den tette og høye hardheten til SiC-belegget (Vickers-hardhet på 2500-2800) kan motstå erosjon av syrer, alkalier, salter og organiske løsemidler, noe som forlenger utstyrets levetid i etsende gassmiljø.

2. Utmerket motstand mot høye temperaturer

Høy temperaturstabilitet: Den tåler opptil 3000 °C i inert atmosfære, stabil drift opptil 2200 °C i vakuummiljø og 1600–1700 °C i oksiderende miljø, noe som er egnet for de ekstreme forholdene i MOCVD-reaksjonskammeret.

Lav termisk utvidelseskoeffisient (4.5 x 10⁶K⁹): Denne funksjonen til MOCVD-grafittvarmeren reduserer effektivt sprekkdannelser eller avskalling av belegg på grunn av temperaturendringer, og sikrer strukturell integritet under langvarig termisk sykling.

3. Optimalisert ytelse for termisk styring

Høy varmeledningsevne (200–300 W/mK): Den høye varmeledningsevnen til grafitt-MOCVD-varmeren gjør at produktet raskt og jevnt kan overføre varme for å oppnå en jevn fordeling av waferoverflatetemperaturen (±1 °C), og dermed effektivt forbedre ensartetheten i det epitaksiale laget.

Laminær gassstrømningsfeltdesign: Etter kontinuerlig teknologisk iterasjon og oppgradering sikrer MOCVD-varmerens overflateglatthet (Ra ≤ 0.8 μm) og geometrioptimalisering jevn fordeling av reaktive gasser og reduserer ujevn avsetning forårsaket av turbulens.

Sammenligning av tekniske parametere og fordeler

Hvorfor Semixlab?

Tilpasning: Semixlab er forpliktet til å tilby tilpassede produkter og tekniske tjenester til våre kunder. Vi støtter tilpasning av ikke-standardiserte størrelser (opptil 360 mm diameter) og beleggtykkelser (20–500 μm) for å imøtekomme et bredt spekter av utstyrsbehov.

Global sertifisering: Vår SiC-belagte grafittvarmer er SEMI-kompatibel, ISO 9001-sertifisert, og produktene våre eksporteres hovedsakelig til Europa og USA, samt Japan og Sør-Korea, med en betydelig pris/ytelsesfordel.

Teknisk synergi: Semixlab har lenge hatt et tett samarbeid med ledende forskningsinstitusjoner i Kina, og bruker patenterte beleggteknologier (som CGT Carbons SiC³-prosess) for å optimalisere beleggtetthet og motstand mot termisk sjokk.