SiC-belagt samlertopp for Aixtron

Med årelang erfaring innen produksjon av TaC-belegg og SiC-belegg, kan Semixlab levere et bredt utvalg av SiC-beleggskollektortopp, kollektorsenter og kollektorbunn for Aixtron-systemet. Høykvalitets SiC-belagte kollektortopp kan dekke mange bruksområder. Hvis du trenger det, kan du få vår nettbaserte, rettidige tjeneste om silisiumkarbidbeleggskollektortopp. I tillegg til produktlisten nedenfor kan du også tilpasse din egen unike SiC-beleggskollektortopp i henhold til dine spesifikke behov.

SiC-beleggets oppsamlertopp, SiC-beleggets oppsamlersenter og SiC-beleggets oppsamlerbunn er de tre grunnleggende komponentene som brukes i halvlederproduksjonsprosessen. La oss diskutere hvert produkt separat:

1. Topp for oppsamler av SiC-belegg

Silisiumkarbid SiC-belagt kollektortopp for Aixtron spiller en avgjørende rolle i halvlederavsetningsprosessen. Den fungerer som en støttestruktur for det avsatte materialet, og bidrar til å opprettholde ensartethet og stabilitet under avsetningen. Den hjelper også med termisk styring, og avleder effektivt varmen som genereres under prosessen. Toppen av kollektoren sikrer riktig arrangement og fordeling av det avsatte materialet, noe som resulterer i høy kvalitet og jevn filmvekst.

2. SiC-belagt samlersenter

1) Luftstrømstyringsfunksjon: SiC-belagt samlersenter er plassert i midten av reaksjonskammeret, og bidrar til å optimalisere gasstrømningsfeltfordelingen i MOCVD-prosessen, og forbedrer dermed ensartetheten av epitaksial avsetning.

2) Hemme generering av urenhetspartikler: Sentrum er området der konsentrasjonen av forløperreaktanter og akkumulering av biprodukter er relativt konsentrert. Bruk av SiC-belegg kan effektivt redusere adhesjonen av sedimenter og redusere risikoen for partikkelforurensning.

3. SiC-belagt samlerbunn

1) Sedimentoppsamlingsområde: Dette området ligger i bunnen av reaksjonskammeret, og hovedfunksjonen er å samle opp overflødige forløpere og biprodukter for å forhindre at de resirkuleres eller forurenses.

2) Strukturell støtte og termisk skjermingsfunksjon: Bunnstrukturen må tåle vekten av utstyret og termisk belastning. Styrken og termisk stabiliteten til SiC kan sikre at den ikke deformeres eller skaller av under langvarig bruk.

SiC-belegget øverst, i midten og nederst på kollektoren gir utmerkede termiske styringsegenskaper, noe som sikrer effektiv varmeavledning og opprettholder optimale prosesstemperaturer. Det har også utmerket kjemisk motstand, beskytter komponenter mot korrosive miljøer og forlenger levetiden deres. Egenskapene til SiC-belegg bidrar til å forbedre stabiliteten i halvlederproduksjonsprosesser, redusere defekter og forbedre filmkvaliteten.

Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiC-belegg

Oversikt over industrikjeden for epitaksi av halvlederbrikker:

Semixlab Produktbutikker