Høyrent kvarts diffusjonsovnsrør

Diffusjonsovnsrøret for kvarts med høy renhet er spesialdesignet for diffusjonsprosesser ved høy temperatur i produksjon av halvlederskiver. Det er produsert med syntetisk kvartsand med ultrahøy renhet (SiO2₂renhet ≥99.999%). Oppfyller de strenge kravene til renslighet, termisk stabilitet og kjemisk inertitet i avanserte prosesser under 7 nm. Produkter gjennom lysbuesmelteprosess og presisjonsbearbeidingsteknologi sikrer strukturens stabilitet i høytemperaturmiljøer på 1200 ℃, og er mye brukt i fosfor/bor-doping, oksidvekst og andre viktige prosesser.

Kjernematerialer og egenskaper

Materiale med ultrahøy renhet

SiO₂-renhet: ≥99.999 % (5N-kvalitet), totalt urenhetselement ≤2 ppm (i samsvar med SEMI F63-standarden).

Viktig urenhetskontroll: Li+Na+K≤0.5 ppm, Fe≤0.1 ppm, Al≤0.3 ppm, B≤0.05 ppm (unngå dopingforstyrrelser).

Hydroksylinnhold: ≤1 ppm (etter dehydroksyleringsbehandling for å forhindre waferdefekter forårsaket av hydrogenutvikling ved høy temperatur).

Optimalisering av termisk ytelse

Termisk ekspansjonskoeffisient: 5.5 × 10^-7K^-1(20–1000 °C), og unngår deformasjonssprekker forårsaket av plutselige temperaturendringer.

Mykningspunkt: 1680 ℃, langvarig arbeidstemperatur ≤1250 ℃ (støtter rask stigning og avkjøling).

Termisk sjokkmotstand: tåler 1200 ℃→ romtemperatur-slokkingssyklus ≥200 ganger (ASTM C338 standardverifisering).

Kjemisk inertitet og renhet

Korrosjonsbestandighet: motstandsdyktig mot HF, HCl, HNO₃ og andre sterke syrer (vekttap ≤0.005 mg/cm²·t).

Overflaterens: Ra≤0.1 μm (CMP-polering), partikler ≤5/m2 (@0.1 μm, i samsvar med ISO klasse 1).

Kontroll av metallforurensning: metallrester på overflaten ≤0.1 ppb (ICP-MS-deteksjon).

Rask Detail:

1. Andre navn: Kvartsreaksjonsrør, høytemperaturovnrør.

2. Bruksområde: Waferdiffusjonsprosess.

3. Kjerneparametere: Renhet ≥99.995 %, temperaturbestandighet 1600 ℃, indre diameter 20–300 mm.

Høytemperaturdiffusjonsdoping.

Diffusjon av fosfor/bor i faststoffkilde (1000–1200 ℃).

Hurtig termisk glødeprosess (RTA) (stige-/avkjølingshastighet ≥100 ℃/s).

Ultrahøy renhet og krystallisasjonsmotstand forlenger levetiden til ovnsrøret.

Støtt kompleks strukturdesign, tilpass deg ulike prosesskrav.

Streng dimensjonstoleransekontroll (±0.5 mm).