Båtbærer for kvartswafer

Semixlab kvartsbåtstøtte er et høytytende bæreverktøy designet for halvleder-, solcelle-, LED- og presisjonselektronikkindustrien. Den er laget av syntetisk kvartsmateriale med høy renhet. Som kjerneforbruksvarer i høytemperaturprosesser har kvartsbåtstøtter blitt de ideelle bærerne for wafere, silisiumskiver, glasssubstrater og andre presisjonskomponenter innen diffusjon, gløding, oksidasjon, CVD (kjemisk dampavsetning) og andre prosesser på grunn av deres utmerkede termiske stabilitet, kjemiske inertitet og ultralange levetid, noe som hjelper kundene med å oppnå effektive og stabile produksjonsprosesser.

Bruksscenarier eller utstyr: 

Halvlederdiffusjon, gløding, oksidasjon og CVD (kjemisk dampavsetning) prosess.

Bedriftsstyrke

Semixlab Technology Co.,Ltd har 2 FoU-sentre, 2 produksjonsbaser, 12 produksjonslinjer, 150+ ansatte, og FoU-investeringer utgjør mer enn 30%. Produktoppsettet vårt brukes hovedsakelig i LED, IC integrert krets, tredje generasjons halvleder, solcelle og andre industrier. Semixlab har sterke FoU-, produksjons- og integrerte test- og verifikasjonsevner. Samtidig forbedrer vi hele tiden vår teknologi og utstyr med en investering på titalls millioner per år.

Tilpassede tjenester

For å møte ulike behov tilbyr vi fleksible tilpasningstjenester og støtter følgende parameterjusteringer:

Størrelsesspesifikasjoner: Tilpass deg forskjellige underlag som 8 tommer og 12 tommer, eller tilpass spesialformede strukturer i henhold til kundens tegninger.

Overflatebehandling: Valgfri sandblåsing, belegg (som silisiumkarbidbelegg) og andre prosesser for å forbedre anvendeligheten i spesifikke scenarier.

Integrering av tilbehør: Kan matches med kvartsøyler, baffler og andre komponenter for å danne et komplett bæresystem.

Kvalitetssikringssystem

Råvaretesting: Importert kvartsand med høy renhet, analysert med ICP-MS (induktivt koblet plasmamassespektrometri).

Prosesskontroll: CNC-presisjonsmaskinering + automatisert testing, toleranse for nøkkeldimensjoner ≤ ± 0.05 mm.

Ren emballasje: Ultrarent miljøemballasje i klasse 100 for å unngå transportkontaminering.

Typiske bruksscenarier

Halvlederproduksjon: brukes til høytemperaturgløding, oksidasjon og tynnfilmavsetningsprosesser av wafere i diffusjonsovner og vertikale ovner.

Fotovoltaisk industri: Bæring og overføring av PERC- og TOPCon-celler i PECVD, fosfordiffusjon og andre prosesser.

LED-epitaksi: Presis posisjonering og høytemperatur epitaksial vekst av safirsubstrater i MOCVD-utstyr.

Forskningsfelt: Materialsintring og testing i høytemperaturovner og vakuummiljøer i laboratorier.

1. Utmerket motstand mot høye temperaturer

Kvartsbåtstøtten tåler høye temperaturer over 1200 ℃ i lang tid, med en ekstremt lav termisk utvidelseskoeffisient (ca. 5.5 × 10⁻⁷/℃). Den kan fortsatt opprettholde strukturell stabilitet under raske avkjølings- og oppvarmingsforhold, unngå sprekkdannelser eller deformasjon forårsaket av termisk stress, og sikre prosessrepeterbarhet.

2. Ultrahøy renhet og kjemisk inertitet

Laget av 99.99 % eller mer kvartsand med høy renhet, ingen nedbør, ingen forurensning, forhindrer effektivt metallioner eller partikkelforurensninger i å forurense waferoverflaten ved høy temperatur, spesielt egnet for avanserte prosesser med strenge renslighetskrav (som chipproduksjon under 7 nm).

3. Presisjonskonstruksjon

Overflaten på båtstøtten er polert med høy presisjon (ruhet Ra≤0.2 μm), utstyrt med en patentert sporstruktur, som stabilt kan bære substrater i forskjellige størrelser (som 8/12-tommers wafere), noe som sikrer jevn oppvarming og gasssirkulasjon, og forbedrer prosessens ensartethet.

4. Ultralang levetid

Sammenlignet med tradisjonelle grafitt- eller keramiske bærere har kvartsmaterialer sterk korrosjonsbestandighet, lav tapsrate i sure/alkaliske atmosfærer, og en kontinuerlig brukssyklus kan nå 12–24 måneder, noe som reduserer kundens totalkostnader betydelig.