Kvarts deler

Kvarts finnes fortsatt overalt i halvlederprosessering. Det er ikke nytt, men det er pålitelig, og de fleste fabrikker er kjent med hvordan det oppfører seg. Så lenge renheten er kontrollert, fungerer det bra i diffusjons-, oksidasjons- og rengjøringstrinn.

Mange kvartsdeler brukes i ovnssystemer eller PECVD-verktøy. Hovedforventningen er stabilitet – ikke nødvendigvis lang levetid, men forutsigbar ytelse. Det er vanligvis godt nok for mange standardprosesser.

Selvfølgelig har kvarts sine begrensninger. Det kan slites raskere under visse forhold, spesielt sammenlignet med SiC. Men fordi det er relativt enkelt å få tak i og ikke for dyrt, bruker folk det fortsatt ganske mye.