SiC keramisk digel

SiC-keramiske digel fungerer som en kritisk inneslutnings- og reaksjonsbeholder i prosesser som SiC- og GaN-krystallvekst, epitaksial avsetning, diffusjon og høytemperaturgløding – der renhet, stabilitet og temperaturjevnhet direkte bestemmer waferutbytte og krystallkvalitet.

Materielle egenskaper

● Materialsammensetning: Ultrarent sintret SiC eller CVD-SiC (≥99.9 %)

● Tetthet og mikrostruktur: Fullstendig tett, finkornet og ikke-porøs struktur for overlegen gassugjennomtrengelighet

● Termisk stabilitet: Utmerket ytelse opptil 2000 °C i inerte eller reaktive gassatmosfærer

● Varmeledningsevne: 120–200 W/m·K, noe som sikrer overlegen temperaturjevnhet

● Korrosjonsbestandighet: Enestående stabilitet i hydrogen-, klor- og halogenbaserte prosessgasser

● Overflatebehandling: Speilpolert og plasmarenset for å minimere partikkelgenerering

Nøkkelapplikasjoner i halvlederproduksjon

SiC-keramiske digler spiller en viktig rolle i flere stadier av halvlederproduksjon, inkludert:

1. Krystallvekst og epitaksi

SiC-digler brukes i PVT (fysisk damptransport) og CVD epitaksiale vekstsystemer, og gir en stabil, ikke-reaktiv beholder for kildematerialer og voksende krystaller.

Deres høye renhet og matchende termiske ekspansjonskoeffisient minimerer forurensning og stress, og sikrer defektfri krystalldannelse for SiC-, GaN- og Ga₂O₃-substrater.

2. Diffusjon og gløding ved høy temperatur

I termisk behandling, diffusjon og oksidasjonsprosesser opprettholder SiC-digler sin form og kjemiske integritet under ekstrem termisk sykling, noe som forhindrer utgassing og partikkelutslipp som kan kompromittere waferkvaliteten.

3. Materialsintring og pulverbehandling

SiC-digler er også ideelle for sintring av halvlederpulver, og tilbyr kjemisk inertitet ved høy temperatur og dimensjonsstabilitet under vakuum- eller kontrollerte atmosfæreforhold.

Semixlabs fordeler

Hos Semixlab Semiconductor tilbyr vi mer enn bare komponenter – vi leverer omfattende tekniske løsninger for å møte de strenge kravene til halvlederproduksjon.

1. Tilpasset design

● Skreddersydd digelgeometri, tykkelse og gassinnløpskonfigurasjon.

● Kompatibel med de fleste krystallvekst- og CVD-systemer (LPE, PVT, AIXTRON, Veeco osv.).

2. Teknisk konsultasjon

● Interne materialforskere og prosessingeniører med over 20 års bransjeerfaring.

● Støtte for termisk design, gasstrømsimulering og prosesstilpasning.

3. Kvalitetssikring før levering

● Hver digel gjennomgår dimensjonal presisjonsinspeksjon, heliumlekkasjetesting og overflateruhetsanalyse.

● Valgfritt CVD-beskyttende belegg og speilpolering for økt levetid og renslighet.

Semixlab SiC keramiske digel setter en ny standard for termisk stabilitet, renhet og kjemisk holdbarhet i avansert halvlederprosessering. Med tilpassede designalternativer, teknisk rådgivning og streng inspeksjon før forsendelse, sikrer Semixlab at hvert produkt oppfyller de strenge kravene til halvlederapplikasjoner med høy temperatur og høy renhet. Vi ser frem til dine ytterligere henvendelser.