SiC-waferbåt
Semixlab SiC-waferbåter er spesialbygd for krevende høytemperaturdiffusjon i halvlederproduksjon. Laget av tett sintret silisiumkarbid, tilbyr de eksepsjonell styrke, kjemisk inertitet og partikkelfri ytelse opptil 1,800 °C. Vi tilbyr standard- og spesialspesifikasjoner med rask levering, noe som sikrer pålitelig waferhåndtering og forlenger produktets levetid for dine kritiske prosesser.
Tekniske beskrivelser
Ⅰ. Optimaliser høytemperaturdiffusjonsprosessene dine med Semixlab SiC-waferbåter
I den krevende verdenen av halvlederproduksjon er integriteten og renheten til wafere dine under diffusjonsprosesser ved høy temperatur avgjørende. Semixlab tilbyr SiC (silisiumkarbid) waferbåter konstruert for å møte de strengeste kravene til avansert fabrikasjon, noe som sikrer pålitelig ytelse og maksimerer prosessutbyttet.

Ⅱ. SiC-waferbåtapplikasjoner:
Våre horisontale, firkantede SiC-waferbåter er den ideelle løsningen for sikker fastholdelse av wafere under kritiske diffusjonsprosesser med høy temperatur. De er designet for stabilitet og presisjon, og er en uunnværlig komponent i anlegg som krever overlegen termisk og kjemisk motstand for waferhåndtering.
Ⅲ. Viktige funksjoner for krevende miljøer:
Semixlab SiC-waferbåter er produsert for å ha viktige egenskaper som er avgjørende for suksess i høytemperatur halvlederapplikasjoner:
● Eksepsjonell høytemperaturstyrke: Våre SiC-waferbåter opprettholder sin strukturelle integritet og form selv under ekstrem termisk belastning, og forhindrer vridning eller deformasjon som kan kompromittere waferjustering og prosesskonsistens.
● Overlegen kjemisk stabilitet ved høye temperaturer: Båtene våre er bygget av avansert silisiumkarbid, og viser enestående motstand mot korrosive gasser og kjemikalier som vanligvis brukes i diffusjonsovner, noe som minimerer risikoen for forurensning og forlenger produktets levetid.
● Null partikkelgenerering: Vi forstår at mikroskopiske partikler kan påvirke enhetens ytelse alvorlig. Våre grundige produksjonsprosesser sikrer at Semixlab SiC-waferbåter er så godt som fri for partikkelavgivelse, noe som beskytter dine verdifulle wafere mot forurensning.
Ⅳ. Hvorfor velge Semixlab til dine waferbåter?
Å samarbeide med Semixlab for dine behov for SiC-waferbåter betyr å velge en forpliktelse til kvalitet, pålitelighet og presisjon.
✔Ulike spesifikasjoner og tilpasning: Vi tilbyr et bredt utvalg av standard SiC-waferbåtspesifikasjoner som passer til ulike ovnstyper og waferstørrelser. I tillegg tilbyr vårt erfarne ingeniørteam omfattende tilpasningstjenester for å designe og produsere skreddersydde løsninger som er nøyaktig skreddersydd til dine unike prosesskrav.
✔Premium tett sintret silisiumkarbidmateriale: Våre SiC-waferbåter er produsert av tett sintret silisiumkarbidmateriale, kjent for sine overlegne mekaniske egenskaper, varmeledningsevne og renhet, som er avgjørende for krevende halvlederapplikasjoner.
✔Forlenget levetid: Takket være den iboende holdbarheten og motstanden til tettsintret SiC, tilbyr waferbåtene våre lang levetid, noe som reduserer utskiftingsfrekvensen betydelig og senker de totale eierkostnadene.
Spesifikasjoner
| Fysiske egenskaper til sintret silisiumkarbid | |
| Eiendom | Typisk verdi |
| Kjemisk oppbygning | SiC>95%, Si<5% |
| Romvekt | >3.07 g/cm³ |
| Tilsynelatende porøsitet Tilsynelatende porøsitet | |
| Bruddmodul ved 20 ℃ | 270 MPa |
| Bruddmodul ved 1200 ℃ | 290 MPa |
| Hardhet ved 20 ℃ | 2400 XNUMX kg/mm² |
| Bruddfasthet på 20 % | 3.3 MPa · m1/2 |
| Termisk ledningsevne ved 1200 ℃ | 45 w/m·K |
| Termisk ekspansjon ved 20-1200 ℃ | 4.5 1 × 10-6/℃ |
| Maks.arbeidstemperatur | 1400 ℃ |
| Termisk støtmotstand ved 1200 ℃ | Flink |
Våre tjenester

Semixlab produktbutikk


EN
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ







